2021年6月16日

利用虚拟DOE预测先进FinFET技术的处理窗口和器件性能

随着FinFET器件工艺规模的不断扩大,微加载控制由于其对成品率和器件性能的显著影响而变得越来越重要[1-2]。微加载发生在局部蚀刻时[...]
2020年12月14日

基于虚拟制造的DRAM工艺窗口优化

用于3D存储和逻辑设备的新的集成和模式方案带来了制造和产量方面的挑战。工业的焦点已经从可预测的单元过程的扩展[...]
2020年4月17日

识别和预防7nm制程失败

器件的成品率高度依赖于正确的工艺目标和制造步骤的变化控制。[...]
2019年6月25日

利用半导体工艺窗口优化控制变异性

为了确保半导体技术开发的成功,工艺工程师必bob官方网站平台须设定晶圆工艺参数的允许范围。必须控制变异性,以使最终制造的器件符合要求的规范。[...]
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