2020年12月14日

虚拟制造过程窗口优化DRAM

3D存储器和逻辑设备中使用的新集成和图案化方案创造了制造和产生挑战。工业焦点已从可预测单元流程的缩放转向[...]
10月23日2020年

微载荷及其对器件性能的影响:在高级DRAM过程中的Wiggling Active Area案例

在DRAM的结构,基于电容器的存储器单元的充电和放电过程是直接由晶体管控制[1]。随着晶体管尺寸接近物理实现性的下限,制造[...]
2020年1月29日

识别由漏电流和寄生电容引起的DRAM故障

漏电流是DRAM设计中器件故障的主要原因,从20nm技术节点开始。DRAM设计中漏电流的问题可能导致可靠性[...]
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