流程文档

有效的工艺文件是工艺开发技术转移、在线质量保证和失效分析的重要工具。大多数晶圆厂使用通用绘图工具来绘制工艺的图解截面。绘制的横截面的生成和维护非常耗时,而且常常不准确,因为绘图工具没有预测能力。此外,静态的2D图像并不传达关于设计和流程交互的3D本质的信息。SEMulator3D提供了一种更好的方法来生成和维护流程文档。它能准确预测fab工艺流程产生的三维结构。SEMulator3D的3D图形输出在预测性、真实感和传达理解方面远远优于静态2D插图。

手绘的存储设备横截面,以及相同设备的simulator3d模型。

手绘的存储设备横截面,以及相同设备的simulator3d模型。

工艺流程的修改

在开发阶段,当过程快速变化时,绘图工具的插图是极其劳动密集型的。不幸的是,这个阶段是过程文档最关键的时候。使用SEMulator3D,更新文档以考虑流程更改只是更新流程描述和重新构建3D模型的问题。可以很容易地为流程中的每个步骤创建图表,并以分钟而不是几天或几周的时间进行更新以反映变化。横截面可以在3D模型的任何位置输出,以创建尺寸准确的图像。

SEMulator3D生成可重用的3D内容,这些内容可以导出到SEMulator3D Reader中,用于发布交互式3D模型或直接嵌入OBJ格式的Adobe 3D PDF文件中。

45纳米CMOS逻辑晶体管的SEM图像

45纳米CMOS逻辑晶体管的SEM图像


使用SEMulator3D创建动画

使用SEMulator3D创建动画

处理步骤分区

可以对单个过程进行分区,以更好地理解物理行为的演变。这些信息通常被证明对未来的工艺和产量故障排除至关重要,特别是对于复杂的蚀刻和外延生长工艺。用实际的硅分区记录这些过程是过度消耗资源的,特别是对于复杂的蚀刻和外延生长过程,因此经常被忽视。SEMulator3D可以轻松生成分区动画,用于记录这些过程和趋势。

“SEMulator3D是我们实验新技术和新想法的首选工具。我们还使用SEMulator3D创建3D横截面,用于文档编制和培训新同事。生成3D图片和动画的能力使解释一个过程变得容易得多。——奥地利英飞凌科技有限公司

过程文件编制的高级工具

SEMulator3D消除了与2D流程图相关的不准确性和低效。它可以生成逼真的3D模型,除了标准流程文档之外,还可以用于许多目的,包括技术转让、故障分析和设计规则开发。横断面和工艺划分功能实现了全面的特性描述,而这在工厂中由于资源限制而经常被忽略。SEMulator3D的虚拟制造能力代表了简化通信技术的重大进步。

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