semulator3d.^®

从输入设计数据开始，Semulator3D遵循集成的流程说明，以创建Fab中创建的复杂3D结构的虚拟等效。

软件评估

设计（GDSII / OASIS）

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流程流

从设计和过程数据预测3D集成结构

BEOL Interconnect.

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MEMS / LOT设备

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快速，坚固，准确

Semulator3D的流程预测能力使得Semiconsoil电源链中的所有参与者从技术开发人员到Fabless IP提供商到设备和过程供应商。

预测过程建模

预测设计与集成过程流程之间的复杂相互作用。在制造之前识别过程问题。

执行变化实验

有效地开发过程流动并在实际工厂中执行自动虚拟实验

灵活且鲁棒

无论复杂性或技术如何，都适用于多种用例，适用于任何过程和任何布局。

在每个阶段都很有价值

在技术开发的每个阶段利用虚拟制造。降低昂贵，耗时的硅学习周期

了解Semulator3D如何帮助您解决高级半导体制造和降低硅学习循环的挑战。查看我们的案例研究。

semulator3d用例

软件功能亮点

semulator3d.^®是一个功能强大的3D半导体和MEMS过程建模平台，提供了广泛的技术开发能力。基于高效的物理驱动的体素建模技术，Semulator3D具有建模完整流程的独特能力。

核心过程建模

使用独特的物理驱动的3D建模技术，Semulator3D建模引擎可以模拟各种单位工艺步骤。每个进程步骤只需要几何和物理输入参数，易于理解和校准。正如在实际FAB中，上游单元工艺参数（例如沉积保形性，蚀刻各向异性，选择性等）以复杂的方式相互交互，以影响最终设备结构。

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高级过程建模

要正确预测完整过程流程的最终结果，必须准确地建模每个过程步骤。Semulator3d高级过程建模在标准库中增加了其他过程步骤，例如MultiTectCh和选择性外延。这些步骤提供更准确的等离子体（干）蚀刻，选择性外延生长的建模。

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自动化

Semulator3D Automation是一种电子表格驱动的自动化引擎，可实现大量平行的过程变化研究。通过自动构建具有工艺参数的特定变化的一系列型号3D型号，Semulator3D Automation可以实现对工艺公差，产量或交叉晶片均匀性的虚拟研究。

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分析

Semulator3D Analytics模块在Semulator3D中直接自动分析过程变化。新的分析用户界面使用各种技术引导用户在设计，执行和分析大型统计实验中，包括蒙特卡罗工艺变化。自动多变量回归用于识别重要参数，并通过对过程变化的影响进行排序。

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设备分析

设备分析功能作为电气分析模块的一部分，可以提取晶体管的电气特性，并探讨设备性能的晶体管工艺变化，直接在Semulator3D内。

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电气分析

电气分析模块增加了强大的电阻和电容提取，以加深对过程和设计敏感性的理解。电气分析模块可以在Semulator3D中直接计算导体网和网络电容的电阻，为3D建模和电气功能验证提供单一平台。

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可视化

Semulator3d Viewer在进程中的每一步中显示虚拟设备模型的3D渲染。逐步可视化可以帮助了解过程失败模式和其他复杂的过程现象。可以在3D模型上的任何位置执行横截面和尺寸测量。Semulator3d Viewer具有许多高级功能，包括自动动画的流程步骤和自动导出到Microsoft PowerPoint。

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以及更多...

网格生成导出到标准网格格式
全套布局查看和编辑工具
通过完整的Python脚本API自定义
在Python中编写的新流程建模能力库
示例过程技术文件