配音器3D^®

SEMulator3D从输入设计数据开始，遵循集成工艺流程描述，创建在工厂中创建的复杂3D结构的虚拟等效物。

软件评估

设计（GDSII/OASIS）

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工艺流程

从设计和工艺数据预测三维集成结构

三维NAND闪存

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快速、稳健、准确

SEMulator3D的过程预测能力使半导体供应链的所有参与者受益，从技术开发人员到无晶圆厂IP供应商，再到设备和过程供应商。

预测过程建模

预测设计和集成流程之间的复杂交互。在制造前识别工艺问题。

进行变异实验

高效地开发工艺流程并执行自动化虚拟实验在实际工厂中不可行

灵活稳健

灵活适用于多种用例&适用于任何流程和任何布局，无论复杂性或技术如何。

在每个阶段都很有价值

在技术开发的每个阶段利用虚拟制造。减少昂贵、耗时的硅学习周期

了解Semultact3D如何帮助您应对先进半导体制造的挑战，减少硅学习周期。看看我们的案例研究。

语义三维用例

软件功能亮点

配音器3D^®是一个功能强大的3D半导体和MEMS工艺建模平台，提供广泛的技术开发能力。SEMulator3D基于高效的物理驱动体素建模技术，具有对完整流程建模的独特能力。

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核心过程建模

SEMulator3D建模引擎使用独特的物理驱动3D建模技术，可以对各种单元过程步骤进行建模。每个过程步骤只需要几个易于理解和校准的几何和物理输入参数。正如在实际的晶圆厂中一样，上游单元工艺参数（如沉积一致性、蚀刻各向异性、选择性等）以复杂的方式相互作用，并以复杂的方式影响最终的器件结构。

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高级过程建模

为了正确预测完整工艺流程的最终结果，必须对每个工艺步骤进行准确建模。Semultact3D高级工艺建模为标准库添加了额外的工艺步骤，如多重蚀刻和选择性外延。这些步骤提供了等离子体（干）蚀刻、选择性外延生长等更精确的建模。

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自动化

SEMulator3D Automation是一个电子表格驱动的自动化引擎，支持大规模并行过程变化研究。通过自动构建一系列具有特定工艺参数变化的Semmulator 3D模型，Semmulator 3D Automation实现了工艺公差、成品率或晶圆间均匀性的虚拟研究。

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分析

Semmulator 3D Analytics模块直接在Semmulator 3D中自动对过程变化进行统计分析。新的分析用户界面使用各种技术（包括蒙特卡罗过程变化）指导用户设计、执行和分析大型统计实验。自动多元回归用于识别重要参数，并根据其对过程变化的影响对其进行排序。

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设备分析

作为电气分析模块的一部分，设备分析功能可以提取晶体管的电气特性，并探索晶体管工艺变化对设备性能的影响，所有这些都直接在Semultact3D中实现。

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电分析

电气分析模块增加了强大的电阻和电容提取功能，以加深对工艺和设计敏感性的理解。电气分析模块可以直接在Semmulator 3D中计算导体网络的电阻和网络的电容，为三维建模和电气功能验证提供单一平台。

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形象化

SEMulator3D Viewer在过程中的每个步骤显示虚拟设备模型的3D渲染。逐步可视化有助于理解过程故障模式和其他复杂过程现象。横截面和尺寸测量可以在三维模型上的任何位置执行。SEMulator3D Viewer具有许多高级功能，包括过程步骤的自动动画和自动导出到Microsoft PowerPoint。

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还有更多。。。

用于导出为标准网格格式的网格生成
一整套布局查看和编辑工具
通过完整的Python脚本API进行定制
用Python编写的新流程建模功能库
示例过程技术文件