参数设计条目:

最先进的MEMS产品的直观和灵活的设计选项bob娱乐官网入口

MEMS设计本质上是依赖和三维的过程MEMS +.包括直观的3D用户界面,使设计进入简单快速。

软件评估
3DMEMS建模

一个设计,多种模拟选项

每一个MEMS +.设计与多种仿真环境兼容,包括内置MEMS +.模拟器,以及Matlab®,simulink.®和节奏Virtuoso®环境。

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MEMS +.设计过程从拟议设计的材料输入和过程说明信息开始。可以直接输入布局数据MEMS +.或进口到MEMS +.使用GDS2格式文件。IC布局艺术品,包括自定义形状和几何形状,可以进口到MEMS +.从许多3.RD.派对设计工具。使用布局数据以及材料和过程描述,MEMS +.可以生成MEMS设备的3D示意图。

主要特征

  • 3-D设计条目与制造过程相关联
  • 内置,参数材料数据库和流程描述
  • 材料数据,过程文件和创新者原理图使用标准XML格式存储在单独的文本文件中
  • 图形变量定义和曝光
  • 轻松设置机械边界条件和电气端口
  • 互动,图形设计条目和
  • Python脚本界面允许脚本设计条目
  • GDSII或3D ACIS SAT文件可以导入创新者以进行比较MEMS.+模型
  • 标准输出过滤器包括GDSII布局和ACIS SAT 3D实体模型

进程意识

虽然MEMS和IC设计与制造相关的方面,但它们在其设计流程上的影响方面不同。IC组件在制造过程中标准化,而MEMS组件不是。例如,晶体管(IC部件)在制造过程中由沉积在硅基板上的特定层外产生,并且不能通过IC设计器改变这些层;但是是MEMS设计的一部分的机械悬架梁可以放置在几个“机械”层中的任何一个上,并且该层是设计选择。

另外,通常需要将制造过程量身定制到特定的MEMS装置,以便实现设备的设计目标。因此,制造过程是MEMS设计中的重要的“自由参数”,其可以随着显影进展而改变。MEMS设计需要更改制造过程描述的灵活性,但是从传统的IC设计环境中缺失。

MEMS.+环境通过提供两个集成编辑器来解决MEMS设计人员的特定需求,用于指定所有流程特定的数据:材料编辑器和过程编辑器。

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链接进程和库组件

库组件之间的关系MEMS +.使用公共层属性包括“创新者”(参数化组件设计区域)和制造数据。利用此图层属性,设计器可以建立组件结构与更多层名称之一之间的关系。

MEMS-层分配

MEMS参数设计有哪些好处?

在里面MEMS +.“创新者”选项卡,设计人员可以从中选择来自的参数组件MEMS组件库包括在他们的设计中。这些参数分量类似于基于MEMS的“构建块”。用户通过将参数化组件组合成更大的组件来组装创新者的设计。这有点类似于通过将预定定义的参数布局单元插入布局来创建IC布局。主要区别在于MEMS +.和IC设计是MEMS +.设计是在3-D环境中完成的。这款3D设计对于MEMS设计师来说更加自然,用于在3D CAD环境中工作。

与3D CAD环境不同,有一个复杂的行为模型与每个相同MEMS +.零件。这些组件模型中的每一个也可以通过向导自动连接。用户可以在模拟期间控制在模型中暴露在模型中的参数和机械和机械“引脚”。Users can also define a hierarchy of symbolic variable names and use those names in place of literal values, or combine them in algebraic expressions, to define any material property, any process parameter (e.g. layer thickness), or any component parameter (e.g. width of a suspension). A combination of variables and algebraic equations allows for properties to be mutually dependent on other properties, upon environmental variables (e.g. temperature and pressure) or even based upon abstract variables such as the equipment settings for a given fabrication process. This flexibility enables development of highly complex behavioral models, without the time and expense of custom-built MEMS model development.

最重要的是,MEMS.+模型是完全是parametric。这些先进的参数化设计功能与极快的仿真时间相结合,提供了快速准确地探索广泛设计空间的能力。由于过度的仿真时间要求,使用传统的有限元建模技术不可用这种能力。

参数组件库
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