MEMS元件库

MEMS+基于广泛的MEMS组件库(基本结构构建块)。每个组件都有一个3D视图和一个底层模型,用于捕获机械、电气和/或气体阻尼物理行为。与IC设计师通过从SPICE模型库中选择和组装模型来构建电子电路的方式类似,MEMS设计师从MEMS+库中选择组件并将其组装成所需的设备设计。

软件评估
示意图组成

MEMS设计人员生成MEMS模型以包含在电路或系统模拟器中,以支持MEMS设备控制和读出电路的设计。创建此类MEMS模型有三个选项:

  • 手工制作的分析模型,用SPICE或Verilog-A实现,
  • 从FEA中提取的降阶模型(宏模型),或
  • 从离散元素表示(行为模型,如MEMS中创建的模型)构建的模型+).

MEMS中的设计入口+从制造技术的输入开始,包括工艺堆栈和材料属性。接下来,可以使用MEMS组件库生成MEMS行为模型。微机电系统+包括参数化MEMS组件或构建块的库,如刚性形状、柔性机械形状、电极和静电梳。在微机电系统中+,模型从可以定义电气、机械、输入和输出端口的组件库中组装。设计师使用直观的3D用户界面将库中选定的组件组装到MEMS设备模型中。可以从GDS2布局导入自定义刚性形状。一切都可以在MATLAB中编写脚本®或者Python。组装的参数化MEMS器件模型可实现快速、自动化的设计研究。

在过去15年中,Coventor为组件库中的每个项目开发了支持多物理和多领域数学的理论背景。经过多年的经验,这些模型已经在许多不同类型的MEMS设备上得到验证。我们的内部开发团队根据最新理论和客户的反馈不断改进模型库。

微机电系统+组装模型非常容易建立,高度精确,非常快和快速准备模拟。此外,它们可以很容易地维护、支持和修改,因为您的设计需要改变,并完全支持参数化设计研究。

主要特征

  • 线性和非线性模型
  • 层数不限
  • 任意横截面和侧壁角支撑
  • 降阶模型能力
  • 基于最新一代有限壳单元的变阶柔性板
  • 平面内和平面外接触模型
  • 蚀刻孔模型
  • 应力和应力梯度模型
  • 完整的静电模型
  • 所有静电模型中的边缘场支持
  • 还有更多…
mems元件库

这个微机电系统+组件库是分层的。这个刚性板包括可用于创建其他任意结构的参数化几何图元,如矩形段、三角形段、直梳齿和曲梳齿等。最终的刚性板是各个分段布尔组合的结果。刚性板的行为模型基于牛顿定律和欧拉方程。

第二组机械元件暂停,包括用于直梁、蛇形梁、梁路径、垂直梁和许多其他梁的参数化图元。所有悬架模型均基于伯努利梁理论。

第三组机械元件,即挠性板,包括可用于创建复杂柔性结构的基本形状,如圆、圆弧、矩形和四边形。

所有柔性板的形状都由一个称为MITC的单一、可变阶、有限壳单元建模(tonsorial components的混合插值)。对于悬架部件,非常小心地考虑了所有与工艺相关的影响,如侧壁角度、预应力、多层支撑以及非线性行为,如屈曲。

机械模型族的成员可以用静电、压电和接触模型“装饰”。

行为模型基于各种建模技术,包括解析公式、数值积分和有限元分析。有关基础模型的详细说明,请参见MEMS的综合参考文档+设计环境。

柔性板形
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