压电电阻(PZR)的PZR传感器

简单的PZR传感器仿真

许多用于机械信号的固态传感器都基于压阻效应,即压阻材料在机械应力作用下电阻率的变化被用来测量物理量,如压力、力和加速度

CoventorWare提供了一种独特的方法来模拟压阻(PZR)传感器,利用压阻效应对传感器输出的形状变化的优势。应力场使用CoventorWare的机械求解器预先计算,并映射到压电传感器的几何形状上。这种方法可以实现更有效的网格划分,并且可以在应力场中更新压电传感器的位置和方向,而无需重新进行网格划分或再次进行模拟。

CoventorWare的MemPZR模块然后使用预先计算的应力场和用户指定的电学和压阻系数来计算电场(以及由此产生的电流变化),因为它们受到压力和温度的影响。独特的2nd可以包括阶压阻系数,以捕捉非线性压阻行为,这在某些类别的压力传感器是重要的。

图中显示了膜片在施加压力下的变形情况,图中显示了膜片的变形情况stressYY场地和砖网映射在隔膜上。为了清晰度,图中没有显示高掺杂轨道和薄膜钝化层(如果需要,可以包括这些)。

PZR_stressYY_subwebpage
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