用于声谐振器或传感与驱动的PZE耦合物理

声谐振器

第一个成功的射频滤波器是声表面波(SAW)滤波器,其次是体声波(BAW或FBAR)技术,以满足1ghz以上声表面波器件性能下降的需求1.最近,体模谐振器在平面振动,以允许在一个基片上的多频滤波器变得越来越流行。这些面内体模谐振器有各种各样的名字,如轮廓模谐振器(CMR)和横向振动谐振器(LVR)。

CoventorWare提供独特的功能,帮助声学谐振器设计师:

  • 史无前例的速度模拟3D模型的频率响应精确的捕获主要的共振和马刺,使用FastPZE求解器。
  • 自动提取设计指标,如BVD参数,机电耦合,串并联共振。
  • 自动多端口分析和s参数导出到Touchstone格式。
  • 有效的网格功能,非曼哈顿设计包含任意多边形或曲线边。对于薄膜声学结构,避免四面体网格所需要的大量网格单元是至关重要的。
  • 谐振器设计的其他方面的建模,如频率热系数(TCF),热弹性阻尼(TED),和锚损。
来自Gong2的三维横向振动谐振器,显示在0.48 GHz覆盖导纳响应的模态振幅的平面视图和横截面

龚的三维横向振动谐振器图像2显示在导纳响应上覆盖的0.48 GHz模态振幅的平面视图和横截面。响应包括所有伪模态或激振。

能量采集器和PZE执行器

CoventorWare还可以用于其他利用PZE物理的传感器建模,例如用于驱动微镜的Energy Harvesters或PZE促动器。这里可以模拟设备对静态和动态负载的响应,以预测产生的电荷和电压以及位移和应力。后者可能是重要的,例如,当设备由于加速度冲击过载。

该动画展示了在振动加速度载荷下模拟PZE能量采集器开路电位和位移的三维等值线图3.

  1. 爱格纳,“SAW, BAW和无线的未来”,EDN, 2013年5月,http://www.edn.com/design/wireless-networking/4413442/SAW - BAW和无线的未来
  2. Songbin Gong和Gianluca Piazza,“横向振动铌酸锂MEMS谐振器的价值增强”,IEEE电子器件汇刊,第60卷第11期,2013年11月。
  3. Hohlfeld一个,美国Matova一个舍伊克(R. van Schaijk)说一个威尔汉姆(C. J. Welham)b,美国Rouvilloisb一个Holst Centre / IMEC, High Tech Campus 31,5656 AE Eindhoven,荷兰bCoventor, 3 Ave Du Quebec, Villebon Sur Yvette,法国,微机械振动能量收集模块的实验验证,Eurosensors 2009。
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