大多数商业成功的MEMS器件依赖于静电场和移动机械部件之间的耦合作为它们的操作原理，无论是用于感测，致动或转换。必须以极高的精度模拟这些静电场，以便精确地预测诸如静电力，拉入/剥离电压和静电弹簧软化的衍生量。在MEMS行业中广泛欣赏CoventorWare，用于模拟静电和耦合电力机械，具有无与伦比的精度和效率。
其他FEA工具造成了显着折衷精度和速度的啮合要求：移动部件周围的截短空中区域必须用音量元素填充，并且当器件移动时，网格必须变形或重新生成，或者空气间隙必须用特殊啮合忽略静电环形田的静电元件。Coventor的混合BEM / FEM方法避免了这些妥协。
Coventorware的混合BEM / FEM方法所需的较小网格可以通过简化模型准备以及减少必须解决的自由度来提供大量的时间。更重要的是，BEM方法是一种模拟静电的更准确的方式。它不需要以距离器件的有限距离截断静电场或忽略排列场效应。