致动器和测辐射热计的电热机械物理

解决模拟微辐射热计的复杂数值挑战

CoventorWare提供了一个完全耦合的电热-机械求解器,采用有限元有效地模拟在该应用中使用的多材料复合薄膜。

多耦合物理域

模拟MEMS微测辐射热计的完整运行需要分析多个耦合物理域,包括热、机械和电行为域。

Microfabricated复合组件

MEMS微测辐射热计通常由多种材料组成,而这些材料的材料特性截然不同。材料的特性包括从电导体到电介质,从绝缘体到热导体,以及具有不同热膨胀系数和先进残余应力分布的材料。

高纵横比结构

层压薄膜通过精心设计的悬浮液附着在多种材料的共形沉积锚点上。

多个模拟域

为了准确地描述微辐射热计的特性,稳态、频率和时域模拟都是必需的。

CoventorWare用于电热机械分析

将CoventorWare的布局和过程驱动的方法与其多功能求解器相结合,可以满足微辐射热计设计的所有要求,实现在单一、统一的环境中进行快速设计探索。CoventorWare模拟了包括热导在内的基本设计特性G,时间常数τ,总热容C,电阻R电压温度关系V-T电流电压(电流-电压)曲线,以及整个传感器对入射辐射应用的操作时间响应。

二维图显示当暴露于入射辐射(包括电子脉冲扰动)时,微辐射热计最高温度的时间演变

显示微辐射热计暴露于入射辐射(包括电子脉冲扰动)时最高温度的时间演变的2D图

三维等高线图动画演示了温度在整个设备上的分布作为时间的函数

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