过程驱动的设计输入

CoventorWare有许多mems特定的特性,使其易于准备有效的仿真模型。3D模型可以直接从布局或导入其他工具,包括MEMS +

软件评估
Process-Driven-Design-Entry

MEMS的制造过程多种多样。制造过程和掩模(2D布局)一起定义和约束器件结构。因此,MEMS设计入口应该模拟实际的流体,这是很自然的。我们的客户告诉我们,CoventorWare提供了最直观、最快的方式来生成他们的MEMS设计的3D模型。

CoventorWare前端包括:

  • 一个材料性能数据库,预填充常用MEMS材料,
  • 一个流程编辑器为了提供制造过程的几何描述,
  • 一个全功能的等级布局编辑器mems特有的特性,比如支持真曲线,
  • 一个预处理器查看3D模型并准备进行分析,
  • 2D和3D的导入/导出GDS2、DXF、SAT、IGES和STEP等广泛使用的格式
  • 可选网格生成和导出到Ansys®

CoventorWare的前端设计输入功能与现场求解器套件很好地集成在一起,但也可以作为第三方FEA工具(如Ansys或COMSOL)的独立前端®

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MEMS麦克风模型内置在CoventorWare,与四分之一的削减
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CoventorWare中建立的3D MEMS包模型
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