coventorware®

Coventorware是一套与后处理工具集成的现场求解器套件。该套件具有许多特定于MEMS的特征,使其成为模拟MEMS和其他微制成设备的通用有限元工具的首选。

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coventorware产品概述

CoventorWare是一种集成套件的设计和仿真软件,具有满足现实世界MEMS设计的准确性,容量和速度。该套件具有许多用于建模和模拟各种MEMS器件的MEMS特定功能,包括惯性传感器(加速度计陀螺仪),麦克风谐振器, 和执行器。该软件的现场求解器可以模拟各种MEMS特定的多物理,例如静电,耦合电 - 机械,压电,压阻和阻尼效果。

无论是探索设计概念还是执行对设备行为的详细验证,CoventorWare用户都可以受益于我们广泛的MEMS模拟体验和建模增强功能。CoventorWare在MEMS行业中被广泛认可作为多物理MEMS仿真的最佳解决方案,并为MEMS仿真精度,容量和速度设置标准。

von错过了陀螺仪模级包装的压力轮廓(由2000年的变形缩放)
加速度计虚假模式
IHP RF开关通过剩余应力和施加的致动电压变形
湿度传感器的电荷密度,带有梳形顶电极,带分支

了解Coventorware如何帮助您模拟并模拟各种MEMS设备。转到我们的MEMS解决方案页面!

软件功能亮点

具有一套FEM / BEM求解器的详细设备分析。2D-3D模型构建器,自动啮合和现场求解器针对MEMS结构和多物理进行了优化,寻址大多数MEMS。

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流程驱动的设计条目

流程驱动的设计条目

CoventorWare具有许多MEMS特定功能,可以轻松准备高效的仿真模型。3D模型可以直接从布局安装或从其他工具导入,包括MEMS +.

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十六进制统治网格

自动啮合

为了有效地筛选MEMS典型的高纵横比结构,必须使用六边形(六角端)元素而不是四面体元件。CoventorWare包括一系列网格化算法,用于生成最佳的MEMS结构的HEX主导网格。

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混合BEM / FEM耦合机电

广泛认识的Coventorware用于精确地模拟静电电容和力,以及非线性耦合电力机械效应,例如拉入,剥离和静电弹簧软化。CoventorWare使用混合有限元/边界元素(FEM / BEM)方法,避免符合准确性和效率。

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阻尼机制

无论是模拟加速度计的瞬态响应,还是估计谐振器的Q系数,正确地阻尼就会是至关重要的。使用CoventorWare,可以模拟能量损失机制,准确地预测阻尼系数。

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PZR传感器的压电抗性(PZR)

CoventorWare提供了一种独特的方法,用于模拟压电电阻(PZR)传感器,利用压阻效应对传感器输出的形状变化的主导地位。使用Coventorware的机械求解器预先计算应力场,并映射到压电传感器的几何形状上。

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电热物理学

用于执行器和钻孔器的电热 - 机械物理学

CoventorWare是用于设计微压计的理想环境,用于模拟传感器的完整操作需要分析多个耦合物理域,包括热,机械和电域。它提供了完全耦合的热电电气过程,用于分析这种类型的问题,采用适合于对这种类型装置共同的薄膜建模的有限元件。

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开关模型

用于位移应力和动态分析的MEMS力学

在MEMS制造期间,沉积和蚀刻期间的热循环可以在沉积层中产生应力。CoventorWare使MEMS设计人员能够通过在复杂的几何形状中建模各向同性,各向异性和应力梯度来预测残留应力的3D影响,包括保形沉积。

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在预装谐振器(FBAR,LVR等)中模拟高频散装模式

用于声学谐振器或传感和致动的PZE耦合物理

Coventorware将压电和机械物理耦合,精确地预测声学谐振器的装置的频率响应,或采用压电物理学的装置,用于感测和致动如能量收割机。

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