科文托瓦®

CoventorWare是一套现场解算器,集成了前处理和后处理工具。该套件具有许多MEMS特有的功能,使其成为模拟MEMS和其他微加工设备的通用有限元工具的首选。

软件评估
考文托:它是如何工作的

考文托维尔产品概述

CoventorWare是一套集成的设计和仿真软件,其精度、容量和速度足以满足现实世界的MEMS设计。该套件具有许多特定于MEMS的功能,用于建模和模拟各种MEMS设备,包括惯性传感器(加速计陀螺),麦克风,谐振器执行器. 该软件的场解算器可以模拟各种MEMS特定的多重物理,如静电、耦合机电、压电、压阻和阻尼效应。

无论是探索设计概念还是执行设备行为的详细验证,CoventorWare用户都受益于我们丰富的MEMS仿真经验和建模增强功能。CoventorWare在MEMS行业内被公认为是多物理MEMS仿真的最佳解决方案,并为MEMS simu设定了标准准确度、容量和速度。

Von Misses陀螺仪模具水平封装上的应力轮廓(变形按2000年的比例缩放)
加速度计杂散模式
残余应力和外加驱动电压导致IHP RF开关变形
带分支梳状顶电极湿度传感器的电荷密度

了解CoventorWare如何帮助您建模和模拟各种MEMS设备。请访问我们的MEMS解决方案页面!

软件功能亮点

使用一套FEM/BEM解算器进行详细的设备分析。2D-to-3D模型生成器、自动网格划分和场解算器针对MEMS结构和多种物理进行了优化,解决了大多数类型的MEMS。

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流程驱动的设计入口

流程驱动的设计入口

CoventorWare具有许多MEMS特有的功能,可以方便地准备有效的仿真模型。三维模型可以直接从布局构建,也可以从其他工具导入,包括微机电系统+.

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六边形网格

自动啮合

为了有效地对MEMS典型的高深宽比结构进行网格划分,必须使用六角(hex)单元而不是四面体单元。CoventorWare包括一系列网格算法,用于生成适用于MEMS结构的十六进制主导网格。

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混合式FEM-BEM拉入、提离谐波

混合边界元/有限元机电耦合

CoventorWare因准确模拟静电电容和力以及非线性、耦合的机电效应(如拉入、提离和静电弹簧软化)而得到广泛认可。CoventorWare使用混合有限元/边界元(FEM/BEM)方法,避免了对精度和效率的影响。

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阻尼机构

无论是模拟加速度计的瞬态响应,还是估计谐振器的Q因子,正确地建模阻尼都是至关重要的。使用CoventorWare,可以模拟能量损失机制并准确预测阻尼系数。

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PZR_应力yy

压电电阻传感器(PZR)

CoventorWare提供了一种独特的模拟压阻式(PZR)传感器的方法,利用了压阻效应对传感器输出形状变化的优势。使用CoventorWare的机械解算器预先计算应力场,并将其映射到压电传感器的几何结构上。

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电热物理学

致动器和测辐射热计的电热机械物理

CoventorWare是设计微测辐射热计的理想环境,模拟传感器的完整操作需要分析多个耦合的物理域,包括热、机械和电气域。它提供了分析此类问题的完全耦合的热电过程,并采用有限元法非常适合对此类设备常见的薄膜进行建模的组件。

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开关模型

用于位移应力和动力学分析的MEMS力学

在MEMS制造过程中,沉积和蚀刻过程中的热循环会在沉积层中产生应力。CoventorWare使MEMS设计师能够通过在复杂几何体(包括保形沉积)中建模各向同性、各向异性和应力梯度,预测残余应力的三维影响。

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模拟PZE谐振器中的高频体模(FBAR、LVR等)

用于声谐振器或传感和驱动的PZE耦合物理

CoventorWare将压电和机械物理耦合起来,以准确预测设备(如声学谐振器)或采用压电物理进行传感和驱动的设备(如能量采集器)的频率响应。

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