coventorware®

CoventorWare是一套集成了预处理和后处理工具的现场解决程序。该套件具有许多MEMS特有的功能,使其成为模拟MEMS和其他微加工设备的通用有限元工具的首选。

软件评估
CoventorWare-How-It-Works

CoventorWare产品概述

CoventorWare是一套集成的设计和仿真软件,具有精度、容量和速度,以解决现实世界的MEMS设计。该套件具有许多MEMS特有的功能,用于建模和模拟各种MEMS设备,包括惯性传感器(加速度计陀螺仪),麦克风谐振器,致动器.该软件的现场求解器可以模拟各种MEMS特定的多物理,例如静电,耦合电 - 机械,压电,压阻和阻尼效果。

无论是探索设计概念还是执行设备行为的详细验证,CoventorWare的用户都受益于我们广泛的MEMS模拟经验和建模增强。CoventorWare是MEMS业界公认的多物理MEMS模拟的最佳解决方案,并为MEMS模拟精度、容量和速度设定标准。

陀螺模位封装上的Von miss应力轮廓(2000年变形规模)
加速度计的模式
IHP RF开关通过剩余应力和施加的致动电压变形
顶部带有分支的梳状电极的湿度传感器上的电荷密度

了解CoventorWare如何帮助您建模和模拟广泛的MEMS设备。请访问我们的MEMS解决方案页面!

软件能力突出

详细的设备分析与一套FEM/BEM求解器。二维到三维模型构建器、自动网格划分和现场求解器针对MEMS结构和多物理进行了优化,解决了大多数类型的MEMS。

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过程驱动的设计输入

过程驱动的设计输入

CoventorWare有许多mems特定的特性,使其易于准备有效的仿真模型。3D模型可以直接从布局或从其他工具导入,包括MEMS +.

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hex-domininant-mesh

自动啮合

为了有效地网格化MEMS典型的高纵横比结构,必须使用六边形(六边形)单元而不是四面体单元。CoventorWare包括一种网格划分算法,用于生成MEMS结构的最优六边形主导网格。

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Hybrid_FEM_-BEM_Pull_In_Lift_Off_Harmonics

BEM/FEM混合机电耦合

CoventorWare被广泛认为可以精确模拟静电电容和力,以及非线性、耦合的机电效应,如拉入、提离和静电弹簧软化。CoventorWare使用了一种混合的有限元/边界元(FEM/BEM)方法,避免了对精度和效率的折衷。

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阻尼机制

无论是模拟加速度计的瞬态响应,还是估计谐振器的Q因子,正确建模阻尼都是至关重要的。使用CoventorWare,可以模拟能量损失机制并准确预测阻尼系数。

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压电电阻(PZR)的PZR传感器

CoventorWare提供了一种独特的方法,用于模拟压电电阻(PZR)传感器,利用压阻效应对传感器输出的形状变化的主导地位。使用Coventorware的机械求解器预先计算应力场,并映射到压电传感器的几何形状上。

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电热物理

致动器和测辐射热计的电热机械物理

CoventorWare是设计微辐射热计的理想环境,为了模拟传感器的完整运行,需要分析多个耦合的物理域,包括热、机械和电域。它提供了一个完全耦合的热电过程来分析这类问题,并采用了非常适合模拟这类器件常见的薄膜的有限元。

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开关模型

用于位移应力和动态分析的MEMS力学

在MEMS制造过程中,沉积和刻蚀过程中的热循环会在沉积层中产生应力。CoventorWare使MEMS设计人员能够通过建模各向同性、各向异性和包括共形沉积在内的复杂几何形状的应力梯度来预测残余应力的3D影响。

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在PZE谐振器(FBAR, LVR等)中模拟高频体模

用于声谐振器或传感与驱动的PZE耦合物理

Coventorware将压电和机械物理耦合,精确地预测声学谐振器的装置的频率响应,或采用压电物理学的装置,用于感测和致动如能量收割机。

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