考文托维尔产品概述
了解CoventorWare如何帮助您建模和模拟各种MEMS设备。请访问我们的MEMS解决方案页面！
混合边界元/有限元机电耦合
CoventorWare因准确模拟静电电容和力以及非线性、耦合的机电效应（如拉入、提离和静电弹簧软化）而得到广泛认可。CoventorWare使用混合有限元/边界元（FEM/BEM）方法，避免了对精度和效率的影响。
压电电阻传感器（PZR）
CoventorWare提供了一种独特的模拟压阻式（PZR）传感器的方法，利用了压阻效应对传感器输出形状变化的优势。使用CoventorWare的机械解算器预先计算应力场，并将其映射到压电传感器的几何结构上。
致动器和测辐射热计的电热机械物理
CoventorWare是设计微测辐射热计的理想环境，模拟传感器的完整操作需要分析多个耦合的物理域，包括热、机械和电气域。它提供了分析此类问题的完全耦合的热电过程，并采用有限元法非常适合对此类设备常见的薄膜进行建模的组件。
用于位移应力和动力学分析的MEMS力学
在MEMS制造过程中，沉积和蚀刻过程中的热循环会在沉积层中产生应力。CoventorWare使MEMS设计师能够通过在复杂几何体（包括保形沉积）中建模各向同性、各向异性和应力梯度，预测残余应力的三维影响。
