X-FAB-XMB10-PDK-COVENTORMP-组件 - 库和1轴加速度计设计
使用统计模型作为标准MEMS设计流程的一部分的新进步
2018年4月16日

白皮书:通过用于微地震计的多步调,使得SUB-1 Hz谐振频率谐振器实现

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我们提出了一种可用于震动计的子1 Hz共振频率MEMS谐振器。低共振频率通过电动弹簧具有超小弹簧常数来实现。通常,由于每个电压的频移在零弹簧常数的极限下,难以在零零弹簧常数处电动谐振频率。为了规避这个问题,我们提出了一种多步电调整方法。我们通过模拟显示,即使在Sub-1 Hz区域也可以通过0.008Hz / mV调谐谐振频率。然而,小的弹簧常数降低了地震表的冲击稳健性和动态范围。为了防止这种情况,我们采用了一种力平衡方法,其中通过反馈力缩小质量位移。我们表明,位移可以从产生反馈力的电压获得。

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