白皮书：通过用于微地震计的多步调，使得SUB-1 Hz谐振频率谐振器实现

我们提出了一种可用于震动计的子1 Hz共振频率MEMS谐振器。低共振频率通过电动弹簧具有超小弹簧常数来实现。通常，由于每个电压的频移在零弹簧常数的极限下，难以在零零弹簧常数处电动谐振频率。为了规避这个问题，我们提出了一种多步电调整方法。我们通过模拟显示，即使在Sub-1 Hz区域也可以通过0.008Hz / mV调谐谐振频率。然而，小的弹簧常数降低了地震表的冲击稳健性和动态范围。为了防止这种情况，我们采用了一种力平衡方法，其中通过反馈力缩小质量位移。我们表明，位移可以从产生反馈力的电压获得。