MEMS过程开发

MEMS工艺通常是为每个设备设计高度定制的。具有对新过程流建模、记录过程决策和验证过程设计的能力SEMulator3D与传统的“构建和测试”方法相比,提供了引人注目的优势。

工艺工程师通常知道从单个沉积或蚀刻步骤中会发生什么,并能预测其对器件几何形状的影响。但是,当已知的过程步骤被组合成新的序列时,最终的几何形状可能很难预测。使用SEMulator3D,工程师可以一步一步地建模新的工艺序列,并在晶圆测试之前捕获工艺步骤之间相互作用的关键信息。

SEMulator3D还可以用于在流程完成并开始生产时生成流程文档。如果生产目标需要将制造转移到新的工厂或OEM工厂,SEMulator3D是沟通需求和预期结果的好工具。

点击下面的图片来看看使用的例子SEMulator3D用于MEMS工艺开发和设计验证。

硅MEMS加速度计

数字光处理(DLP)镜

弹出式齿轮传动的镜子

集成的谐振器

“使用SEMulator3D的虚拟制造”……允许工程师使用多种物理设计模式,轻松开发和测试大量的工艺步骤组合和新颖的工艺流程,这在真实的制造环境中是不可能的,或者执行成本很高。每个工艺步骤的模型可以通过实验测量进行校准,从而得到非常可靠的结果——模型可以在多个组合中重复使用。”- - -Teledyne DALSA

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