2021年9月17日

宣布CoventorMP 2.0

我们非常高兴地宣布我们最新的MEMS设计软件CoventorMP®2.0的发布!随着新版本的发布,在MEMS+®和自动化参数化设计的模拟变化[...]
2021年9月14日

利用虚拟制造技术评价STI凹槽轮廓控制对先进FinFET器件性能的影响

形状变化是半导体器件制造和定标过程中最重要的问题之一。这些变化会降低芯片成品率和器件性能。可以使用虚拟制造[...]
2021年8月19日

使用simulator3d进行高精度电容分析

Netlist Extraction是一个重要的SEMulator3D®功能,允许用户在流程建模期间提取不同线路和段的寄生电阻和电容。这个详细的电气网表[...]
2021年8月13日,

提供mems陀螺封装应力和温度变形的最新技术

sensor 2021是一个著名的国际会议,回顾了固态传感器、驱动器和微系统的进展。在今年的会议上,有来自29个不同国家的391篇论文[...]
2021年7月25日

学习MEMS设计的最佳和最快的方法

2003年,Benedetto Vigna沉思道,成功的MEMS设计的关键是“‘达芬奇式’MEMS工程师的横向思维……他们拥有广泛的技术技能和知识[...]
2021年7月20日

向3nm节点及以上迈进:技术、挑战和解决方案

似乎就在昨天,finfet解决了由收缩门长度和静电要求造成的设备缩放限制。finfet的引入始于22纳米[...]
2021年6月16日

利用虚拟DOE预测先进FinFET技术的处理窗口和器件性能

随着FinFET器件工艺规模的不断扩大,微加载控制由于其对成品率和器件性能的显著影响而变得越来越重要[1-2]。微加载发生在局部蚀刻时[...]
2021年6月13日

克服RF MEMS开关发展的挑战

RF MEMS开关有广泛的应用前景,包括可调谐滤波器、天线、触觉收音机和射频标识[1]。为什么这么难[...]
2021年5月27日

利用虚拟过程库改进半导体制造

人们认为,半导体过程模拟库应该使用一个完善的理论背景,并得到实证数据的有力支持。这在学术研究中可能是真的[...]
2021年5月20日

RF MEMS开关:了解它们的操作,优点和未来

射频MEMS开关是一种小型的微机械开关,功耗低,可以使用传统的MEMS制造技术制造。它们类似于一个电灯开关[...]
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