(左)Dalsa MEMS过程的SEM图像,(右)过程步骤的simulator3d图像。
Dalsa Semiconductor和Coventor发表了一篇关于虚拟制造在MEMS处理中的应用的文章。以实验校准为基础的虚拟制造过程仿真是一种比工艺仿真更有效的集成MEMS和CMOS系统的方法。它在晶圆厂和设计之间提供了联系,是一种低成本、快速的技术,并提供了一种独特的方法来理解和改进设计、过程交互以及晶圆控制/检验。它利用了在CMOS半导体制造中开发的大量知识和工具,并将这些知识转移到MEMS世界。