Coventor为最新的MEMS设计书籍提供了一章:MEMS的系统级建模。

一本关于MEMS设计的非常全面的新书已经出版，我们很自豪地指出，Coventor的几位MEMS专家已经提供了第一章。

这本实用手册填补了先进的微和纳米系统的文献空白。它解决了系统级建模的三种最重要的方法:

1)集总单元和Kirchhoffian网络的物理建模
2)模态建模，准确描述力学领域
3)数学建模，例如模型降阶方法。

编辑和作者从工业和研究讨论物理和数学基础和方法的MEMS建模清楚易懂和足够详细的方式。针对实践者和工程师，作者介绍了每种方法的优点和缺陷——以及如何避免后者——以便读者能够选择最适合他们特定应用需求的方法。

行业部分的第一章由Coventor的Gunar Lorenz和Gerold Schröpfer撰写，其中描述了一种MEMS系统设计方法，使MEMS和IC工程师能够在相同的环境下进行设计和模拟。在Coventor的MEMS+®设计平台上实现的这种方法，与传统的将手工制作或减少订单的行为模型从MEMS工程师转移到集成电路工程师的方法相比，具有实质性的优势。

首先，MEMS器件的行为模型足够复杂，可以完全代表MEMS的行为，例如，捕捉机械自由度之间的交叉耦合。其次，三维几何模型和行为模型，以及相关的布局单元，完全参数化了与制造相关的变化和设计的几何属性，这使得在EDA环境中进行设计和产量优化研究成为可能。第三，MEMS和IC设计环境之间的自动切换，消除了在任何手动切换过程中不可避免的人为错误。

除了展示MEMS发展生态系统的最新进展，包括高阶有限元，本章通过实例将新方法应用到基于SRAM单元的DLP MEMS镜面阵列。

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