学习MEMS设计的最佳和最快的方法

2003年，Benedetto Vigna认为成功的MEMS设计的关键是“像达芬奇一样的MEMS工程师的横向思维……他们在工艺流程、材料科学、机械和电子设计方面拥有广泛的技能和知识，以及强大的物理背景。”对于我们这些不是“像达芬奇一样”的人来说，我们如何开始学习如何设计一个MEMS设备呢?

如果你是初学者，MEMS设计的经典参考教科书是微系统设计Stephen Senturia[2]。这本书提供了MEMS和MEMS设计的介绍，微制造的讨论，以及建模策略和物理领域考虑的MEMS，电路，和系统级设计。

对于那些寻求在大学学习MEMS设计的人，美国和世界各地的几所大学提供了微纳机电系统基础课程。以下是美国一些拥有专门研究MEMS和NEMS实验室的大学的名单:

• 加州大学伯克利分校(University of California at Berkeley)与半导体和MEMS行业的关键参与者合作，并有几个实验室全部或部分致力于MEMS和NEMS研究，包括伯克利传感器与执行器中心(BSAC)．加州大学伯克利分校也提供工程硕士学位，重点是MEMS和纳米技术。
• 的加州大学欧文分校有一个微系统实验室研究和开发芯片级陀螺仪和惯性测量单元(IMU)的公司。
• 明尼苏达大学有它的纳米和微系统应用中心(NMAC)该学院通过研究以及纳米和微系统及其应用课程提供研究生教育。
• 卡内基梅隆大学有微机电系统实验室微型传感器和执行器系统的研究。
• 波士顿大学有MEMS和纳米技术组和一个微系统技术实验室，主要从事MEMS和超材料的跨学科研究。
• 麻省理工学院有它的微系统技术实验室该公司从事集成电路、系统、电子和光子器件、MEMS、生物MEMS、分子器件、纳米技术、传感器和驱动器的研究。
• 马奎特大学MEMS和先进微系统实验室研究膜传感器与执行器、相变材料、微电触点与微开关、能量收集与存储、微电网等。

这些机构为寻求较短时间的非学位MEMS设计培训的学生提供有关MEMS一般原理的课程:

• 高技术研究所提供为期3天的MEMS基础理论入门课程。本课程将回顾MEMS是如何加工的，MEMS在传感器和执行器中的应用，MEMS的使用问题，以及MEMS的组装、封装、测试和互连技术。
• Semitracks公司．提供为期两天的MEMS技术概述，涵盖设计、制造、封装、可靠性、模拟和测试。
• 技术、管理和应用工程协会(ATMAE)提供了一个MEMS Foundation Certification (MFC)项目，内容涉及微系统制造的背景、理论和技能，包括对驱动器、传感器和传感器的介绍。

b0b体育投注 ，提供MEMS设计使用的软件和培训b0b体育投注 ．其Coventor国会议员软件平台为MEMS设计提供了一个统一的环境，从完全参数化设计开始，到可以在所有抽象层次上模拟的功能模型的生产。在一个界面中，用户可以构建MEMS设备并指定材料、机械和电气特性。用户还可以使用一组内置物理模型，轻松模拟设备行为。您甚至可以看到MEMS设备在其更大的电路或系统中的行为，以模拟最终成品的行为。该软件包括示例和教程，演示如何设计和模拟加速度计、陀螺仪、压力传感器、麦克风、执行器、微镜、微辐射热计、开关、谐振器等。

Coventor还为其客户和Coventor提供特定设计的培训和支持国会议员在许多世界领先的大学课程中都被用作教学工具。Coventor国会议员使任何人比以往任何时候都更容易学习MEMS设计，并快速测试他们的新设计想法。

随着当今学术研究、培训和软件工具的发展，以前设计MEMS所需要的“达芬奇式”多学科能力，现在任何想成为MEMS设计师的人都触手可及。

参考文献

1. MEMS的困境:如何从“技术推动”转向“市场拉动”范畴?2003年超大规模集成电路技术、系统与应用国际研讨会。技术论文论文集。(IEEE猫。No.03TH8672)， 2003, pp. 159-163, doi: 10.1109/VTSA.2003.1252577。
2. Senturia,微系统设计， 2001, Kluwer学术出版社。