2003年,Benedetto Vigna认为成功的MEMS设计的关键是“像达芬奇一样的MEMS工程师的横向思维……他们在工艺流程、材料科学、机械和电子设计方面拥有广泛的技能和知识,以及强大的物理背景。”对于我们这些不是“像达芬奇一样”的人来说,我们如何开始学习如何设计一个MEMS设备呢?
如果你是初学者,MEMS设计的经典参考教科书是微系统设计Stephen Senturia[2]。这本书提供了MEMS和MEMS设计的介绍,微制造的讨论,以及建模策略和物理领域考虑的MEMS,电路,和系统级设计。
对于那些寻求在大学学习MEMS设计的人,美国和世界各地的几所大学提供了微纳机电系统基础课程。以下是美国一些拥有专门研究MEMS和NEMS实验室的大学的名单:
这些机构为寻求较短时间的非学位MEMS设计培训的学生提供有关MEMS一般原理的课程:
b0b体育投注 ,提供MEMS设计使用的软件和培训b0b体育投注 .其Coventor国会议员软件平台为MEMS设计提供了一个统一的环境,从完全参数化设计开始,到可以在所有抽象层次上模拟的功能模型的生产。在一个界面中,用户可以构建MEMS设备并指定材料、机械和电气特性。用户还可以使用一组内置物理模型,轻松模拟设备行为。您甚至可以看到MEMS设备在其更大的电路或系统中的行为,以模拟最终成品的行为。该软件包括示例和教程,演示如何设计和模拟加速度计、陀螺仪、压力传感器、麦克风、执行器、微镜、微辐射热计、开关、谐振器等。
图1:使用CoventorMP的MEMS产品设计
Coventor还为其客户和Coventor提供特定设计的培训和支持国会议员在许多世界领先的大学课程中都被用作教学工具。Coventor国会议员使任何人比以往任何时候都更容易学习MEMS设计,并快速测试他们的新设计想法。
随着当今学术研究、培训和软件工具的发展,以前设计MEMS所需要的“达芬奇式”多学科能力,现在任何想成为MEMS设计师的人都触手可及。