2021年6月16日

利用虚拟DOE预测先进FinFET技术的处理窗口和器件性能

随着FinFET器件工艺规模的不断扩大,微加载控制由于其对成品率和器件性能的显著影响而变得越来越重要[1-2]。微加载发生在局部蚀刻时[...]
2020年10月23日

微加载及其对器件性能的影响:一个高级DRAM过程中的摆动有源区域案例

在DRAM结构中,基于电容的存储单元的充放电过程直接由晶体管[1]控制。随着晶体管尺寸接近物理可达性的下限,制造[...]
2020年4月17日

识别和预防7nm制程失败

器件的成品率高度依赖于正确的工艺目标和制造步骤的变化控制。[...]
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