2020年12月14日
图2:SEMulator3D在三维结构中识别设备电极，并模拟类似于TCAD软件的设备特征，但不需要耗时的TCAD建模。
发表的Daebin严 在2020年12月14日
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基于虚拟制造的DRAM工艺窗口优化

用于3D存储和逻辑设备的新的集成和模式方案带来了制造和产量方面的挑战。工业的焦点已经从可预测的单元过程的扩展[．..]
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